مقدمه:

انرژی خورشیدی نوعی انرژی در حال رشد است و بازار انرژی خورشیدی در دهه گذشته پیشرفت بزرگی داشته است. بهترین راه برای استفاده از انرژی خورشیدی تبدیل فتوولتائیک است ، یعنی از اثر فتوولتائیک برای ایجاد نور خورشید به مواد سیلیکون برای تولید مستقیم برق استفاده می شود. زنجیره صنعت تبدیل فوتوالکتریک که توسط کاربرد و توسعه مواد سیلیکون تشکیل شده است ، 'صنعت فتوولتائیک' نامیده می شود ، که شامل تولید مواد اولیه پلیسیلیکون با خلوص بالا ، تولید سلولهای خورشیدی ، تولید ماژول های سلول خورشیدی و تولید است تجهیزات تولید مرتبط

ویفر سیلیکون فتوولتائیک نوعی ویفر ساخته شده از مواد سیلیکون است که یک ماده ضروری برای تولید انرژی خورشیدی فتوولتائیک است. بسیاری از سلولهای پلیسیلیکون و خورشیدی آن باید در کارگاه تصفیه تولید شوند. روند تولید امکانات اصلی پشتیبانی آن شامل موارد زیر است:

1. درجه های مختلف محفظه های کارگاه تصفیه مربوط به مراحل تهیه ویفر سیلیکون تا اچ و چاپ تولید دستگاه به محصولات زیر کلاس 1K و 10K با نیازهای مختلف پاکیزگی تقسیم می شوند.

2. فرآیندهای تولید مربوط به ویفرهای اپیتاکسیال ، تراشه ها و بسته ها.

3. فرآیند تکنولوژیکی سلولهای خورشیدی به شرح زیر است: بارگذاری → تمیز کردن ماوراءسیک → بافتی → تمیز کردن دیونیزاسیون → Deydration IPA → انتشار لبه پلاسما → دفسفوریزاسیون شیشه سیلیکون → IPA dehrhydration → Pecvd → PECVD → Sintering → Packation Packation and Packation Packation and Packation Packation and Package بشر

4. سیستم های حامی تولید مانند هوای فشرده شده ، گاز مخصوص ، اگزوز آلی ، اگزوز اسید پایه ، اگزوز داغ ، آب خنک کننده فرآیند ، خلاء و آب خالص.